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　　實驗室高純氣體管道設計要求

　　實驗室高純輸送對氣體管道設計要求非常嚴格，只有嚴格按照要求規(guī)范制作的設計方案才能更好的保持氣體的純度。

　　實驗室高純度氣體管道設計要求規(guī)范

　　1. 對于不同性質(zhì)的氣體，需要規(guī)劃一個獨立的供應區(qū)域，一般分為腐蝕/有毒氣體區(qū)、易燃氣體區(qū)和惰性氣體區(qū)三個區(qū)域, 同樣性質(zhì)的氣體，要集中管理。易燃氣體區(qū)域應特別規(guī)劃防爆墻和泄漏口。如果空間不足，可以將惰性氣體放置在有毒/腐蝕性氣體區(qū)域。

　　2 、管道設計需要考慮運輸距離。距離越長，成本越高，風險也越高。通常較為合理的設計流速為 20 ml/s，可燃氣體小于 10 ml/s，毒性/腐蝕性氣體小于 8 ml/s。在用量設計方面，需要考慮使用點的壓力和管道直徑。前者與氣體性質(zhì)有關，后者使用點的管道直徑一般為 1/4 "~ 3/8"。

　　3. 根據(jù)氣體設備的分布情況，純度較高的氣體管網(wǎng)不宜過大或過長; 使用未封閉的圓形管道在系統(tǒng)末端連續(xù)排放少量氣體是合適的,為了使管網(wǎng)內(nèi)有較高的純度氣體循環(huán)，不會出現(xiàn)造成較高純度氣體污染的 “死空間”。

　　4. 非流動氣體的 “死空間” 應在管道中減少，在專用儲氣瓶和氣體設備之間不提供盲管, 應該設置凈化控制裝置、多閥控制裝置來控制每個閥的切換順序,系統(tǒng)吹掃,確保供氣系統(tǒng)安全可靠運行，防止因 “死區(qū)” 的形成而導致污染物滯留，降低氣體純度。

　　5. 對于純度要求不同的氣體設備，建議采用不同等級的純度氣體輸送系統(tǒng); 但也可以采用相同等級的輸送系統(tǒng), 在純度要求較高的氣體設備附近設置終端氣體凈化裝置。

　　6. 為了檢測高純度氣體的純度和雜質(zhì)含量，輸送系統(tǒng)除了設置必要的連續(xù)測試儀器，如測量含水量或氧氣雜質(zhì)含量之外,定期取樣的試驗取樣口也應按規(guī)定時間設置好取樣口，并對純度較高的氣體中各種雜質(zhì)的含量進行分析。

　　7. 在亞微米集成電路的生產(chǎn)中，需要提供 10-9 級的高純度氣體, 為了保證氣體工藝設備末端氣體的純度，使氣體中的雜質(zhì)含量 (包括粉塵顆粒) 控制在規(guī)定的值以內(nèi),末端凈化裝置一般設置在裝置的前面，或者末端高精度氣體過濾器