氣體控制面板的設計

　　氣體控制面板是氣路系統(tǒng)中重要的一個控制單元，這里主要圍繞易燃易爆性、毒腐性、面板控制等介紹，包括特氣面板設計規(guī)范和作用等內容。　　

　　特氣輸送面板介紹

　　特氣輸送面板是氣源部分非常重要的控制單元。一般工藝氣體從鋼瓶出來，經過高壓控制盤面時，都實現(xiàn)了一次調壓、過濾、流量穩(wěn)定、吹掃、抽真空、壓力偵測等功能。不同的氣體和工藝需求，可以根據(jù)實際情況定制具體功能?，F(xiàn)階段，越來越多的高校實驗室引入了ICP、PVD、PEVCD等設備進行芯片鍍膜、刻蝕方面的研究，這些工藝氣體多是硅烷、乙烯、溴化氫等毒腐、易燃易爆性氣體，對于氣源的控制要求非常高，也給供氣面板提出了很多要求。

　　特氣面板設計規(guī)范

　　1、自然性、可燃性、毒性、腐蝕性氣體面板應設有緊急關斷閥門，并應為常閉氣動閥門，位置應靠近氣瓶;

　　2、氣瓶壓力大于0.1MPa的自然性、可燃性、毒性、腐蝕性氣體面板應設有過流開關;

　　3、自然性、可燃性、毒性、腐蝕性氣體面板應設有惰性氣體吹掃、輔助抽真空裝置，真空管路應設止回閥;

　　4、氣體面板應設置工藝氣體排氣口。