特種氣體尾氣處理方式

　　特種氣體對身體健康以及環(huán)境都會產(chǎn)生很大的危害，如何處理特氣尾氣，用什么設(shè)備處理，這里將會進行深入介紹。

　　特種氣體尾氣現(xiàn)狀

　　尾氣作為特氣系統(tǒng)的衍生物不可避免的存在。過去，在很多高校，由于實驗室用氣量不大，建設(shè)單位的業(yè)主沒有充分意識到尾氣的排放問題，隨著更多半導(dǎo)體工廠雨后春筍的涌現(xiàn)，生產(chǎn)用特氣尾氣的排放越來越多的引起了重視。那么怎么排放，如何排放成為擺在很多用戶面前的問題。同時，尾氣處理裝置如何選配，必須具備什么功能，蓋斯帕克研究院通過實際項目經(jīng)驗，給大家一一闡述。

　　關(guān)鍵詞：

　　尾氣處理;處理方法;多方式組合。

　　特氣系統(tǒng)尾氣排放處理裝置的處理方式：

　　尾氣處理裝置的類型，應(yīng)根據(jù)所處理的排氣中特種氣體的特性進行選擇，不相容特種氣體應(yīng)分別設(shè)置尾氣處理裝置;

　　尾氣處理裝置應(yīng)靠近GR、GC等特種氣體設(shè)備布置;

　　特種氣體尾氣處理方法宜采用干式處理吸附、濕式洗滌、加熱分解處理、燃燒處理、等離子分解處理、稀釋處理及以上幾種方式的組合。

　　Local Scrubber廢氣處理柜

　　Local Scrubber(本地式小型廢氣處理柜)是近年來特氣系統(tǒng)使用非常廣泛的尾氣處理設(shè)備，該設(shè)備有電加熱燃燒、水洗滌等多用途組合，尾氣經(jīng)過設(shè)備處理后，再進行排放，也是非常環(huán)保的生產(chǎn)方式。