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高純/特氣設備-定制高純特氣處理
制定高純/特氣設備
大型集中供氣系統分為氣源部分,輸送管道部分,終端配置設備部分。當供應氣體要用到特氣時,則需要依據氣體性質、用途及所處環(huán)境來定制高純特氣設備。
特氣設備組成
氣源部分特氣柜GC、輸送特氣管道、常規(guī)為雙套管、終端配置VMB、安全監(jiān)測部分。
一、GC特氣柜組成
1、防腐防爆封閉式箱體,
2、分氣箱,用于安置固定氣瓶,
3、面板,面板由閥門組件、管道、儀表或傳感器組成,材質均應為EP級材質。
二、特氣管道材質
1、內管為SUS316/EP級不銹鋼管,2、外管為SUS316/BA級不銹鋼管。
三、VMB組成
1、防腐防爆封閉式箱體,
2、面板,面板由閥門組件、管道、儀表或傳感器組成。
四、安全監(jiān)測
1、GC內裝置偵測器實時監(jiān)測,各種報警功能,如泄漏報警,煙霧報警,壓力報警,震動報警等保障GC運行安全。
2、雙套管負壓偵測,內管與外管見壓力恒定,若發(fā)生變化及時報警,3、VMB泄漏偵測報警,負壓報警。
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