高純氣體氣瓶架(GR)

　　GR(Gas Rack)是為了滿(mǎn)足微電子半導(dǎo)體生產(chǎn)、科研要求而設(shè)計(jì)的氣體輸送中轉(zhuǎn)系統(tǒng)。GR一般由架子、閥門(mén)盤(pán)面、管件、控制器等集中在一起組成。

　　GR多用于普通氣體或惰性氣體的供應(yīng)，是氣源部分。

　　蓋斯帕克高純氣瓶架GR包括：

　　1、根據(jù)客戶(hù)情況的特殊設(shè)計(jì)，以下安全裝備可能將集成于GR

　?、貵R有帶按鍵操作的控制柜體，放置于架體上部

　?、诳梢孕孤秱蓽y(cè)。

　　③與系統(tǒng)抽風(fēng)排空系統(tǒng)連接。

　?、茏源祾呦到y(tǒng)。

　　⑤壓力偵測(cè)。

　　2、安裝環(huán)境：

　?、僖话阍诙栊詺怏w氣瓶架，方便人員操作，懸掛于墻面。

　?、诳刂乒窆耖T(mén)開(kāi)關(guān)自如，不得扭曲變形，關(guān)閉不嚴(yán)。

　?、郾仨氂蓪?zhuān)業(yè)的安裝人員進(jìn)行安裝。

　　3、系統(tǒng)構(gòu)造：GR是由氣瓶架和供氣面板組成

　　①柜體的組成：

　　不銹鋼烤漆耐腐蝕架體

　?、贕as Manifold 氣體面板(根據(jù)實(shí)際需求可能有增減)：

　　蓋斯帕克的設(shè)計(jì)目標(biāo)是要開(kāi)發(fā)一條可以符合客戶(hù)性能，純度，易用度，易維護(hù)度以及系統(tǒng)集成度需求的最優(yōu)級(jí)產(chǎn)品線(xiàn)。初看GR就可以發(fā)現(xiàn)許多已經(jīng)實(shí)現(xiàn)了的設(shè)計(jì)目標(biāo)。GR設(shè)計(jì)簡(jiǎn)潔，每樣?xùn)|西都能很方便的找到和操作。許多部件都組織在一起，以方便維護(hù)。無(wú)需開(kāi)門(mén)，就可以看見(jiàn)和操作面板。蓋斯帕克所實(shí)現(xiàn)的，就是一個(gè)易于理解、易于使用、并且易于維護(hù)。